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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » TiN薄膜退火
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guzhiqing金蟲 (正式寫手)
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[求助]
TiN薄膜退火 已有3人參與
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| 我在室溫下沉積了800nm厚的TiN薄膜， 500度真空退火一小時，薄膜爆膜請問是什么原因？應該怎么改進使薄膜不爆膜。實驗具體過程：（1）升溫速度大約為6度 /min；保溫時間60min，隨爐真空降溫，過了5小時降溫到190 度，然后關閉機器真空保存，第二天取。（2）先在200度保溫一小時，后繼續(xù)加熱到500度，保溫30min，薄膜還是爆膜。 |
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chouniuccq
木蟲 (正式寫手)
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3樓2014-05-24 00:37:51
guilin24
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2樓2014-05-23 20:03:56
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4樓2014-06-24 13:12:26
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