 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » TiN薄膜退火
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1322 | 回復(fù): 3 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
guzhiqing金蟲 (正式寫手)
|
[求助]
TiN薄膜退火 已有3人參與
|
||
| 我在室溫下沉積了800nm厚的TiN薄膜， 500度真空退火一小時，薄膜爆膜請問是什么原因？應(yīng)該怎么改進使薄膜不爆膜。實驗具體過程：（1）升溫速度大約為6度 /min；保溫時間60min，隨爐真空降溫，過了5小時降溫到190 度，然后關(guān)閉機器真空保存，第二天取。（2）先在200度保溫一小時，后繼續(xù)加熱到500度，保溫30min，薄膜還是爆膜。 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
接工學(xué)跨專業(yè)調(diào)劑學(xué)生，非誠勿擾，謝謝
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
接工學(xué)跨專業(yè)調(diào)劑學(xué)生，非誠勿擾，謝謝
已經(jīng)有1人回復(fù)
-
有機高分子材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有92人回復(fù)
-
arxiv背書人郵件求助
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
課題組招聘青年博士一名
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
機器學(xué)習(xí)融合復(fù)合材料及a金屬材料設(shè)計研討
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
ai金屬材料設(shè)計前沿技術(shù)探討
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
324求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
課題組招聘青年博士畢業(yè)生一名
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
齊魯工業(yè)大學(xué)（山東省科學(xué)院）多孔功能材料創(chuàng)新團隊 接收碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
北京石油化工學(xué)院馮文然教授課題組接受調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 求助AZO薄膜退火的問題，退火后面電阻反而升高
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 請教制備薄膜時不同的退火方式
已經(jīng)有14人回復(fù)
- 薄膜的退火時間長短對薄膜影響大嗎？
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 09年晶體牛人名家實驗室鏈接介紹(回帖有金幣)
已經(jīng)有161人回復(fù)
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
4樓2014-06-24 13:12:26
guilin24
鐵蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 9 (幼兒園)
- 金幣: 4539.4
- 散金: 1428
- 紅花: 4
- 帖子: 496
- 在線: 310.1小時
- 蟲號: 983465
- 注冊: 2010-03-27
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
2樓2014-05-23 20:03:56
chouniuccq
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
- 金幣: 2982.6
- 散金: 5
- 帖子: 732
- 在線: 103.4小時
- 蟲號: 927531
- 注冊: 2009-12-14
- 專業(yè): 能源化工
3樓2014-05-24 00:37:51
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿南昌大學(xué)324求調(diào)劑 +3 | hanamiko 2026-03-27 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 287求調(diào)劑 +10 | land xuxu 2026-03-26 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 317求調(diào)劑 +5 | 十閑wx 2026-03-24 | 5/250 |
|
|
[考研] 0703化學(xué)一志愿南京師范大學(xué)303求調(diào)劑 +3 | zzffylgg 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 349求調(diào)劑 +4 | 李木子啊哈哈 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 329求調(diào)劑 +5 | 1() 2026-03-22 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)求調(diào)劑 +3 | 丹青奶蓋 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學(xué)碩求調(diào)劑 +3 | 崔wj 2026-03-26 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 總分322求生物學(xué)/生化與分子/生物信息學(xué)相關(guān)調(diào)劑 +5 | 星沉uu 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 22 350 本科985求調(diào)劑，求老登收留 +4 | 李軼男003 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料277求調(diào)劑 +5 | min3 2026-03-24 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 化學(xué)調(diào)劑一志愿上海交通大學(xué)336分-本科上海211 +4 | 小魚愛有機 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +4 | 15188958825 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 290分調(diào)劑求助 +3 | 吉祥止止陳 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +3 | AZMK 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理085500機械專業(yè)總分300求調(diào)劑 +3 | an10101 2026-03-24 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑 +4 | 13853210211 2026-03-24 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 305分求調(diào)劑（食品工程） +5 | Sxy112 2026-03-21 | 7/350 |
|
|
|
[考研]
 一志愿070300浙大化學(xué)358分，求調(diào)劑！
+4
|
酥酥魚.. 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +3 | 呼呼？~+123456 2026-03-21 | 3/150 |
|