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lx520lx木蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助AZO薄膜退火的問題，退火后面電阻反而升高 已有2人參與
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sol-gel做的AZO，看文獻里做的很多了，結果也很好，但是自己做就不行了。 做了半年了，電阻率降不下來，現(xiàn)在預熱后，不進過退火處理的電阻率是10Ω.cm附近。用的石英襯底，空氣氣氛退火試了好幾種，直接放入指定溫度，或者從室溫升溫到指定溫度，但是面電阻不降低反而升高，最少的也增高3倍。退火的溫度500、550、600、650℃都做過，保溫時間10min、1h，1.5h、2h也做過，但是效果都不行�？次墨I上的，雖然很多在退火后有用氫氣、氮氣或是真空處理，但是實驗室目前沒有氣氛爐的條件（下學期可能會組一臺）。而且看也有不用氣氛處理就做到-2、-3數(shù)量級的，但是大多數(shù)都是“annealed at **℃ in air for *h”,沒有更具體的了，所以來求救啦 小弟下學期大三，是學校的科研訓練，做了一個學期了，但是學校教學區(qū)和科研區(qū)相距較遠，一個星期只能去一次，學校通知下學期這個要結題，為了進度，暑假再學校想把退火這部分做一做，做了三個星期了還是降不下來，所以來此處求助，第一次發(fā)帖，勿噴或輕噴 |
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2樓2013-07-23 13:31:41
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