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lx520lx木蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助AZO薄膜退火的問題，退火后面電阻反而升高 已有2人參與
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sol-gel做的AZO，看文獻(xiàn)里做的很多了，結(jié)果也很好，但是自己做就不行了。 做了半年了，電阻率降不下來，現(xiàn)在預(yù)熱后，不進(jìn)過退火處理的電阻率是10Ω.cm附近。用的石英襯底，空氣氣氛退火試了好幾種，直接放入指定溫度，或者從室溫升溫到指定溫度，但是面電阻不降低反而升高，最少的也增高3倍。退火的溫度500、550、600、650℃都做過，保溫時(shí)間10min、1h，1.5h、2h也做過，但是效果都不行�？次墨I(xiàn)上的，雖然很多在退火后有用氫氣、氮?dú)饣蚴钦婵仗幚�，但是�?shí)驗(yàn)室目前沒有氣氛爐的條件（下學(xué)期可能會(huì)組一臺）。而且看也有不用氣氛處理就做到-2、-3數(shù)量級的，但是大多數(shù)都是“annealed at **℃ in air for *h”,沒有更具體的了，所以來求救啦 小弟下學(xué)期大三，是學(xué)校的科研訓(xùn)練，做了一個(gè)學(xué)期了，但是學(xué)校教學(xué)區(qū)和科研區(qū)相距較遠(yuǎn)，一個(gè)星期只能去一次，學(xué)校通知下學(xué)期這個(gè)要結(jié)題，為了進(jìn)度，暑假再學(xué)校想把退火這部分做一做，做了三個(gè)星期了還是降不下來，所以來此處求助，第一次發(fā)帖，勿噴或輕噴 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lx520lx: 金幣+4, ★有幫助, 氣氛退火確實(shí)能降低電阻率，但是目前實(shí)驗(yàn)室沒這條件。。。不使用氣氛退火做高電導(dǎo)率的文章也不少了，應(yīng)該不會(huì)都有問題吧，還有一個(gè)星期就回去了，我先再把退火相關(guān)的做一遍，下學(xué)期了再去請別的老師幫我做下氣氛吧，還是很感謝的 2013-07-24 10:10:16
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lx520lx: 金幣+4, ★有幫助, 氣氛退火確實(shí)能降低電阻率，但是目前實(shí)驗(yàn)室沒這條件。。。不使用氣氛退火做高電導(dǎo)率的文章也不少了，應(yīng)該不會(huì)都有問題吧，還有一個(gè)星期就回去了，我先再把退火相關(guān)的做一遍，下學(xué)期了再去請別的老師幫我做下氣氛吧，還是很感謝的 2013-07-24 10:10:16
| 溶膠凝膠法做的薄膜本身就不缺氧，還在空氣中退火，O離子增多，薄膜面電阻增大是必然的，而且有的文獻(xiàn)本身不一定就正確的，你可以試試在真空或者氫氣中退火，電阻能降很多 |
4樓2013-07-24 08:47:00
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