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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射氮化硅薄膜？
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chicktj新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射氮化硅薄膜？ 已有5人參與
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| 請問有人用陶瓷靶制備過氮化硅薄膜嗎？有相關的文獻嗎？急求！ |
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zxy19871129
鐵蟲 (初入文壇)
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- 蟲號: 3363789
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- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
5樓2014-08-25 22:35:46
2樓2014-08-25 13:45:52
fuyadong01
禁蟲 (小有名氣)
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3樓2014-08-25 16:36:18
4樓2014-08-25 16:54:57
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