 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 4366 | 回復(fù): 12 | |||
suifeng_muiq金蟲(chóng) (小有名氣)
|
[求助]
關(guān)于磁控濺射SiO2薄膜的絕緣性問(wèn)題 已有3人參與
|
||
| 我們?cè)跒R射SiO2的時(shí)候用的是射頻濺射，靶材為2英寸的SiO2. 濺射功率是100w和150w，工作氣壓是0.1 Pa。然后對(duì)SiO2的絕緣性進(jìn)行測(cè)試，發(fā)現(xiàn)200 nm，250 nm的二氧化硅的絕緣性不好。300 nm的絕緣性還行，但是要分兩次來(lái)做150nm+150nm。請(qǐng)教一下如何解決SiO2絕緣性不好的問(wèn)題。另外，濺射的過(guò)程沒(méi)有通O2，氧氣對(duì)此有影響嗎？求解！ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專(zhuān)輯推薦
 薄膜材料和器件制備 |
» 猜你喜歡
食品工程專(zhuān)碩一志愿中海洋309求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
311（085601）求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
305求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿北化085600材料專(zhuān)碩275|有文章專(zhuān)利｜求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
一志愿華理，數(shù)一英一285求A區(qū)調(diào)劑
已經(jīng)有12人回復(fù)
-
289求調(diào)劑
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
生物學(xué)學(xué)碩，一志愿湖南大學(xué)，初試成績(jī)338
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
321求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
343求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 通過(guò)磁控濺射沉積的Al2O3薄膜，會(huì)和鹽酸反應(yīng)嗎？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 磁控濺射電阻真空計(jì)的問(wèn)題
已經(jīng)有24人回復(fù)
- 求教磁控濺射鍍鋁膜發(fā)黑的問(wèn)題
已經(jīng)有16人回復(fù)
- 磁控濺射底座與腔體短路了 怎么解決
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 磁控濺射低真空計(jì)異常求助
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 請(qǐng)教一個(gè)關(guān)于磁控濺射的問(wèn)題 在靶材上貼片
已經(jīng)有16人回復(fù)
- 磁控濺射二氧化硅靶材的過(guò)程中會(huì)有氧產(chǎn)生嗎
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 直流磁控濺射AZO薄膜為什么方阻總是很大？
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 請(qǐng)教一個(gè)磁控濺射制備薄膜的問(wèn)題，用相同功率的直流和射頻濺射金屬靶效果有什么不同？
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 磁控濺射臺(tái)真空度問(wèn)題
已經(jīng)有11人回復(fù)
- [求助]磁控濺射制備SiN，用的是射頻電源，有輝光，但濺射不上
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 如何在硅片上長(zhǎng)300nm的Si02層
已經(jīng)有12人回復(fù)
- 關(guān)于磁控濺射靶材的顆粒
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 請(qǐng)教磁控濺射的氣壓和功率對(duì)薄膜質(zhì)量的作用，謝謝！
已經(jīng)有20人回復(fù)
- 新手求助，磁控濺射，在銀上濺射SiO2二氧化硅
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 磁控濺射做薄膜失敗了嗎
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 求助關(guān)于磁控濺射的問(wèn)題
已經(jīng)有29人回復(fù)
- 【請(qǐng)教】請(qǐng)教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問(wèn)題
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于磁控濺射SiO2的問(wèn)題
已經(jīng)有14人回復(fù)
peterflyer 
木蟲(chóng)之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
- 物理EPI: 1
- 應(yīng)助: 20282 (院士)
- 金幣: 146189
- 紅花: 1374
- 帖子: 93091
- 在線: 7694.3小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1482829
- 注冊(cè): 2011-11-08
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 功能陶瓷
2樓2014-09-25 14:05:47
peterflyer
木蟲(chóng)之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
- 物理EPI: 1
- 應(yīng)助: 20282 (院士)
- 金幣: 146189
- 紅花: 1374
- 帖子: 93091
- 在線: 7694.3小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1482829
- 注冊(cè): 2011-11-08
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 功能陶瓷
5樓2014-09-26 17:37:56
7樓2014-10-06 14:24:40
邢穎邢穎
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 9.5
- 帖子: 5
- 在線: 12.4小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 3439559
- 注冊(cè): 2014-09-25
- 專(zhuān)業(yè): 計(jì)算機(jī)軟件
3樓2014-09-25 18:18:22
suifeng_muiq
金蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1492.3
- 紅花: 2
- 帖子: 52
- 在線: 8.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 2317863
- 注冊(cè): 2013-03-04
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2014-09-26 16:51:44
leongoall
專(zhuān)家顧問(wèn) (知名作家)
P-M-I之初生牛犢
- 應(yīng)助: 144 (高中生)
- 貴賓: 0.055
- 金幣: 7602.7
- 散金: 627
- 紅花: 35
- 沙發(fā): 3
- 帖子: 5347
- 在線: 1063小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 490263
- 注冊(cè): 2008-01-03
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 等離子體物理
- 管轄: 物理
6樓2014-09-27 13:37:37
li2005235
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 718.4
- 帖子: 32
- 在線: 19.5小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 2748706
- 注冊(cè): 2013-10-23
- 專(zhuān)業(yè): 新型信息器件
8樓2014-10-20 15:38:45
suifeng_muiq
金蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1492.3
- 紅花: 2
- 帖子: 52
- 在線: 8.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 2317863
- 注冊(cè): 2013-03-04
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
9樓2014-11-13 13:36:26
julietzhu
銀蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1834.4
- 散金: 70
- 紅花: 3
- 帖子: 247
- 在線: 106.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 932879
- 注冊(cè): 2009-12-24
- 性別: MM
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
10樓2014-12-06 10:38:09
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 suifeng_muiq 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 求調(diào)劑 +7 | 爭(zhēng)取九點(diǎn)睡 2026-03-28 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 生物學(xué)學(xué)碩，一志愿湖南大學(xué)，初試成績(jī)338 +5 | YYYYYNNNNN 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
[考研] 081200-11408-276學(xué)碩求調(diào)劑 +4 | 崔wj 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +6 | 蘆lty 2026-03-25 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿哈爾濱工業(yè)大學(xué)材料與化工方向336分 +8 | 辰沐5211314 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 331環(huán)境科學(xué)與工程求調(diào)劑 +3 | 熠然好運(yùn)氣 2026-03-27 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)求調(diào)劑，各位老師看看我�。�！ +5 | 祁祺祺 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | 零八# 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 287求調(diào)劑 +10 | land xuxu 2026-03-26 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑 +3 | 李嘉圖·S·路 2026-03-27 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)338求調(diào)劑！ +6 | Zuhui0306 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 329求調(diào)劑 +7 | 鈕恩雪 2026-03-25 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 一志愿 本科 北科大 化學(xué) 343 +6 | 13831862839 2026-03-24 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 總分322求生物學(xué)/生化與分子/生物信息學(xué)相關(guān)調(diào)劑 +5 | 星沉uu 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 340求調(diào)劑 +3 | Amber00 2026-03-26 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 考研一志愿蘇州大學(xué)初始315（英一）求調(diào)劑 +3 | sbdksD 2026-03-24 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 344求調(diào)劑 +3 | desto 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 335求調(diào)劑 +4 | yuyu宇 2026-03-23 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 269求調(diào)劑 +4 | 我想讀研11 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿北京化工大學(xué)070300 學(xué)碩336求調(diào)劑 +5 | vv迷 2026-03-21 | 8/400 |
|