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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 綜合其他 » 磁控濺射低真空計異常求助
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[求助]
磁控濺射低真空計異常求助 已有1人參與
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大家好，我最近在做磁控濺射鍍膜。我們的鍍膜機是沈科儀的，最近在抽真空的時候遇到了一些異常。詳情如下： 我一般是機械泵抽真空到5pa（低真空計顯示）以下，開始抽高真空。分子泵開始工作后，低真空計示數立馬就下降了，到0.2pa左右，正常情況是穩(wěn)定在0.2pa不動的，但是最近抽高真空一段時間后低真空計示數就慢慢往上升了，差不多5個小時后低真空計顯示為0.3pa，不太明白這是為什么。 另外一個問題是在濺射過程中，我的低真空計最多只能顯示到0.5pa，這樣如果工作氣壓為0.4pa就做不了了。 最后一個問題是關于漏真空的，一般我晚上抽真空到8.4×10-4pa，第二天早上來，漏真空為7.1pa，請問這個漏氣速度很快嗎。 我剛剛接手這個設備，很多問題都沒搞明白 |
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zyjllyl
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