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十點(diǎn)人來瘋銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射低真空計(jì)異常求助 已有1人參與
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大家好，我最近在做磁控濺射鍍膜。我們的鍍膜機(jī)是沈科儀的，最近在抽真空的時(shí)候遇到了一些異常。詳情如下： 我一般是機(jī)械泵抽真空到5pa（低真空計(jì)顯示）以下，開始抽高真空。分子泵開始工作后，低真空計(jì)示數(shù)立馬就下降了，到0.2pa左右，正常情況是穩(wěn)定在0.2pa不動(dòng)的，但是最近抽高真空一段時(shí)間后低真空計(jì)示數(shù)就慢慢往上升了，差不多5個(gè)小時(shí)后低真空計(jì)顯示為0.3pa，不太明白這是為什么。 另外一個(gè)問題是在濺射過程中，我的低真空計(jì)最多只能顯示到0.5pa，這樣如果工作氣壓為0.4pa就做不了了。 最后一個(gè)問題是關(guān)于漏真空的，一般我晚上抽真空到8.4×10-4pa，第二天早上來，漏真空為7.1pa，請(qǐng)問這個(gè)漏氣速度很快嗎。 我剛剛接手這個(gè)設(shè)備，很多問題都沒搞明白 |
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3樓2013-11-25 08:45:27
zyjllyl
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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1）真空計(jì)的顯示是有一定范圍的，低真空計(jì)在0.5pa左右已經(jīng)算是極限位置，其本身的顯示誤差就比較大一些的，個(gè)人認(rèn)為0.2pa變到0.3pa不能說明有其它相關(guān)的問題； 2）可以同時(shí)開啟高真空計(jì)，將兩個(gè)真空計(jì)對(duì)應(yīng)記錄作為參照確定實(shí)驗(yàn)過程的工作壓力，另外如果真空度能夠進(jìn)入10-4pa量級(jí)，其中你的工藝氣體的流量一定的情況下，應(yīng)該是比較穩(wěn)定的。不會(huì)相差0.1pa的情況呀，另外，如果確實(shí)相差這么多則根據(jù)你自己的實(shí)驗(yàn)要求衡量是否可以繼續(xù)做實(shí)驗(yàn)； 3）這樣的漏率相對(duì)差了一點(diǎn)，但是還是可以接收的。 |
2樓2013-11-24 23:25:10
vion_zy
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【答案】應(yīng)助回帖
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1.電阻規(guī)零點(diǎn)漂移，調(diào)一下零點(diǎn)九可以了。我們一直不建議用電阻規(guī)來測(cè)量沉積氣壓，因?yàn)槟莻�(gè)數(shù)據(jù)不具備任何的可靠性和可參考性。真正想獲得一個(gè)更可靠的參數(shù)數(shù)據(jù)的話，你可以加一個(gè)皮拉尼規(guī)。 2.如果你濺射時(shí)的工藝氣體沒有含氧的或者腐蝕性氣體的話，0.xPa的氣壓你完全可以用電離規(guī)來測(cè)量，在0.xPa范圍內(nèi)，電阻規(guī)的精度完全不可靠，相差幾倍都是有可能的。 3.設(shè)備漏率還行，不是特別高，一般在5Pa以下都算正常。你的設(shè)備應(yīng)該不是漏，我覺得你應(yīng)該把真空度好好清潔一下了。 |
4樓2014-02-23 14:44:36
guanrenhe
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5樓2014-07-17 15:18:08
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