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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 新能源材料 » 硅片表面鈍化
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coobi鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[求助]
硅片表面鈍化 已有1人參與
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請問，我現(xiàn)在想在硅片表面鈍化一層很薄的SiO2層，大概10 nm或者更薄，該如何處理呢？ 不知道這里有沒有處理過該問題的師兄師姐，先謝謝啦。 PS：我查，說在HF里處理后熱處理，1000度1.5小時，這樣的畫SiO2層應(yīng)該很厚才是，主要是需要很薄的一層，要怎樣做呢。 |
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cord 
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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2樓2014-09-29 19:58:43
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