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分子泵、機(jī)械泵真空抽不上去 已有2人參與
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| 機(jī)械泵抽到3.2×104帕就降不下去了;機(jī)械泵、分子泵共同工作后,抽到0.3帕后就很基本不下降了;同時(shí)分子泵正常工作,關(guān)掉機(jī)械泵后壓強(qiáng)就上升了,不知道是機(jī)械泵、分子泵抑或其他什么問(wèn)題?懇請(qǐng)有經(jīng)驗(yàn)的學(xué)長(zhǎng)指點(diǎn)一下? |
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