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cqbpatriot木蟲 (著名寫手)
獨(dú)行背包客
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[求助]
請(qǐng)問一下，用磁控濺射，可不可以把n型或p型片直接貼在濺射靶上，當(dāng)靶材使用 已有1人參與
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| 靶是本征硅靶，表面貼n-si |
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caoxiafei
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cqbpatriot: 回帖置頂 2014-12-13 11:59:50
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可行的，最好的辦法是，找一塊與你的靶材同樣大小的銅背板，將0.5mm厚的單晶片子，用焊錫膏或金屬銦緊緊的貼在上面，這樣就不怕污染你那塊本征的靶材了。 記住硅片厚度不要用太薄的，避免打穿了，自己算好，要定期換。 單晶硅片與多晶硅片濺射效果是一樣的，即使是多晶硅，其晶粒大小也是上1cm以上的大晶粒，宏觀上與單晶硅是屬于同一水平的，因此不會(huì)影響濺射效果。 濺射時(shí)候，最重要的是電壓要加在靶材上，因此很有必要解決導(dǎo)電問題，你在貼片的時(shí)候，應(yīng)該貼的結(jié)實(shí)一點(diǎn)，一方面是防止掉落，一方面是盡可能降低接觸電阻，還有就是散熱問題；因此我建議你使用銅背板的方法，導(dǎo)熱好，可直接焊接（錫或銦焊）硅片，如果靶材打穿，隨時(shí)可以更換。 |
4樓2014-12-11 22:33:41
caoxiafei
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3樓2014-12-11 18:50:41
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5樓2014-12-12 17:03:25
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6樓2014-12-16 08:35:43
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