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鹵石

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[求助] NR26-25000P負(fù)膠光刻顯影不徹底，大深寬比顯影后脫落基底已有7人參與

我使用的是NR26-2500P負(fù)膠，勻膠：轉(zhuǎn)速3000rmp，40s；膠厚大約21-27um；前烘：均勻升溫150度，保溫7分鐘，然后均勻冷卻至室溫；曝光時(shí)間：200s；后烘：均勻加熱至90度，保溫5分鐘，然后均勻冷卻至室溫；顯影：7-10分鐘；圖案是3um光柵，光柵間距5um，顯影未完成圖案就有脫落，光柵尺寸10um以上，邊角有毛刺；請(qǐng)教對(duì)NR26-2500P負(fù)膠有經(jīng)驗(yàn)的人解答相關(guān)參數(shù)？

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1樓 2015-03-11 10:49:12

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yuanxin5254

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這個(gè)是不是說(shuō)明粘附性不好，你先檢查下晶片上有沒(méi)有雜質(zhì)顆粒什么的，然后你試試后烘溫度加大一點(diǎn)，還有你后烘后到冷卻到室溫這個(gè)過(guò)程在哪里進(jìn)行的，不行直接在環(huán)境下進(jìn)行。

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我們堅(jiān)持做一件事情，并不是這樣做了有效果，而是堅(jiān)信，這樣做了是對(duì)的。

2樓2015-03-11 10:57:47

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鹵石

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引用回帖:

2樓: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-03-11 10:57:47
這個(gè)是不是說(shuō)明粘附性不好，你先檢查下晶片上有沒(méi)有雜質(zhì)顆粒什么的，然后你試試后烘溫度加大一點(diǎn)，還有你后烘后到冷卻到室溫這個(gè)過(guò)程在哪里進(jìn)行的，不行直接在環(huán)境下進(jìn)行。

我用的就是普通熱板，在凈化間光刻實(shí)驗(yàn)室里做的，后烘溫度是根據(jù)膠的說(shuō)明書(shū)來(lái)的，你用過(guò)這種膠嗎？我在對(duì)這種膠的參數(shù)還把握不準(zhǔn)，上面有一張光柵圖，是顯影過(guò)程中張開(kāi)了，是一個(gè)縫隙，有的顯影掉了，有的沒(méi)有，然后內(nèi)應(yīng)力就把他張開(kāi)了，我發(fā)現(xiàn)我現(xiàn)在顯影不均勻，有的顯了有的沒(méi)顯，是不是跟涂膠不均勻有關(guān)系

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3樓2015-03-11 14:58:31

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yuanxin5254

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3樓: Originally posted by 鹵石 at 2015-03-11 14:58:31
我用的就是普通熱板，在凈化間光刻實(shí)驗(yàn)室里做的，后烘溫度是根據(jù)膠的說(shuō)明書(shū)來(lái)的，你用過(guò)這種膠嗎？我在對(duì)這種膠的參數(shù)還把握不準(zhǔn)，上面有一張光柵圖，是顯影過(guò)程中張開(kāi)了，是一個(gè)縫隙，有的顯影掉了，有的沒(méi)有，然 ...

說(shuō)明書(shū)只能用來(lái)參考。有可能膠涂的不均勻，顯影掉的地方說(shuō)明膠薄，沒(méi)顯影掉的地方說(shuō)明膠厚。還有可能就是膠受到污染，你檢查一下。一般跟顯影液沒(méi)啥關(guān)系。

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我們堅(jiān)持做一件事情，并不是這樣做了有效果，而是堅(jiān)信，這樣做了是對(duì)的。

4樓2015-03-11 16:06:20

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exciting73

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【答案】應(yīng)助回帖

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不能問(wèn)下廠家嗎？
如果有脫落可能基片不干凈，或是顯影時(shí)間長(zhǎng)了。

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5樓2015-03-11 20:24:43

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yswyx

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

看不明白你的圖。
就問(wèn)一句，厚膠邊去了沒(méi)有？

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6樓2015-03-13 16:14:44

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6樓: Originally posted by yswyx at 2015-03-13 16:14:44
看不明白你的圖。
就問(wèn)一句，厚膠邊去了沒(méi)有？

勻膠之后，沒(méi)有去邊，我現(xiàn)在的問(wèn)題兩個(gè)，一個(gè)是邊角顯影不干凈，另一個(gè)是光柵尺寸3um時(shí)，顯影不出來(lái)，能看到有些地方開(kāi)始顯影，但是有些邊緣已經(jīng)脫落，沒(méi)有完整的光柵條紋。

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7樓2015-03-15 15:07:11

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【答案】應(yīng)助回帖

我沒(méi)做過(guò)這種厚膠顯影，但是這么厚的光刻膠旋凃之后肯定不平，建議勻膠之前用增粘處理，后烘后丙酮擦邊，嘗試加大曝光量，顯影溫度控制在20作用，希望對(duì)你有幫助(PS：光刻膠越厚，轉(zhuǎn)移圖形的精度越差)

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8樓2015-04-22 10:54:08

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zju2015

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【答案】應(yīng)助回帖

不知道樓主問(wèn)題解決了沒(méi)有，我前段時(shí)間也遇到了脫膠的問(wèn)題，發(fā)現(xiàn)主要是粘附性的問(wèn)題，但我們用的是N244，負(fù)性膠，做薄膠。
我們的解決辦法是，勻膠前加了預(yù)烘200度/10min步驟，溫度降到室溫后涂了層増粘劑HMDS，之后涂膠，最后出來(lái)效果挺好的，最小線寬5um。
還有個(gè)問(wèn)題是負(fù)膠可以做到3um嗎？

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9樓2016-01-06 20:18:17

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蘇州MEMS

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10樓2016-01-07 14:37:43

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