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鹵石
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[求助]
NR26-25000P負(fù)膠光刻顯影不徹底，大深寬比顯影后脫落基底 已有7人參與
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我使用的是NR26-2500P負(fù)膠，勻膠：轉(zhuǎn)速3000rmp，40s；膠厚大約21-27um；前烘：均勻升溫150度，保溫7分鐘，然后均勻冷卻至室溫；曝光時(shí)間：200s；后烘：均勻加熱至90度，保溫5分鐘，然后均勻冷卻至室溫；顯影：7-10分鐘；圖案是3um光柵，光柵間距5um，顯影未完成圖案就有脫落，光柵尺寸10um以上，邊角有毛刺；請教對NR26-2500P負(fù)膠有經(jīng)驗(yàn)的人解答相關(guān)參數(shù)？ 1-150s-1.jpg gs-100s-2 - 副本.jpg |
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yuanxin5254
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4樓2015-03-11 16:06:20
yuanxin5254
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2樓2015-03-11 10:57:47
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5樓2015-03-11 20:24:43
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