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影響薄膜光學(xué)常數(shù)的因素有哪些?
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請問影響薄膜光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))的因素有哪些?現(xiàn)在我知道的是涂層成分,晶化狀態(tài)等比較明顯。 應(yīng)該還有很多其他原因吧?比如薄膜內(nèi)應(yīng)力啥的是不是可能?希望給出相關(guān)文獻。謝謝。 我的是氮氧化物類的薄膜 |
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