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邱林俊銀蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射鍍膜 已有3人參與
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| 我用的磁控濺射，濺射時(shí)基片溫度大概多少度？如何降低基片溫度？有沒(méi)什么好的辦法提高AlNi多層膜和陶瓷片的結(jié)合力？想了解相關(guān)知識(shí)，請(qǐng)大神指點(diǎn)指點(diǎn)。 |
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2樓2015-05-25 12:37:29
藍(lán)色緣分183
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穿越千年: 金幣+2, 樓主長(zhǎng)期不處理，根據(jù)回答版主代為發(fā)放 2015-06-04 17:01:09
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增加一層結(jié)合層 [ 發(fā)自小木蟲(chóng)客戶端 ] |
3樓2015-05-27 20:59:56
邱林俊
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4樓2015-06-04 09:10:44
邱林俊
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5樓2015-06-04 09:11:35
lisx2525
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【答案】應(yīng)助回帖
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邱林俊(穿越千年代發(fā)): 金幣+10, 樓主長(zhǎng)期不處理，根據(jù)回答版主代為發(fā)放 2015-06-04 17:00:53
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基片不加熱，濺射時(shí)候基片會(huì)升溫， 這個(gè)要看你連續(xù)濺射多長(zhǎng)時(shí)間。 通常濺射金屬膜（研發(fā)型設(shè)備），濺射100nm左右基片溫度大約在100 -- 150 度， 這個(gè)與靶基距，電源的功率 等有關(guān)。 增加結(jié)合力： 鍍膜前做等離子清洗基片， 增加過(guò)度層， 采用離子源每層鍍膜后轟擊膜層提高致密性 等 或增加基片偏壓 等手段。 |
6樓2015-06-04 15:45:43
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7樓2015-06-05 20:32:36
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