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evanbossccp木蟲 (正式寫手)
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[求助]
RF磁控濺射鍍氧化鋁（Al2O3）薄膜，顯微鏡觀察有嚴(yán)重缺陷，如何解決？
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用RF磁控濺射法鍍氧化鋁（Al2O3）薄膜，顯微鏡觀察，薄膜表面存在嚴(yán)重缺陷，缺陷呈規(guī)律狀的圓形，有的沒有開裂和脫落，有的開裂和脫落了，請問大神們，這是什么原因造成的？要如何解決呢？ 我們采用Al2O3陶瓷靶，本底真空2.0E-3Pa，鍍膜工藝參數(shù)：100W，0.9Pa，Ar流量15sccm，O2流量5sccm，靶基距90mm，鍍膜時間約90min ９Ｂ３－０１004.jpg ９Ｂ４－０１001.jpg ９Ｂ４－０１008.jpg ９Ｂ４－０１013.jpg |
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