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外延生長(zhǎng)薄膜質(zhì)量問(wèn)題
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最近開(kāi)始做了一些這方面的實(shí)驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)選擇好晶格常數(shù)比較匹配的基地，還是比較容易長(zhǎng)出外延的薄膜，但雖然XRD測(cè)出是很好的外延，在AFM下，表面并沒(méi)有想象中的那么平。就是感覺(jué)應(yīng)該長(zhǎng)成像買(mǎi)的基地那樣的臺(tái)階式的膜，但AFM看起來(lái)也是有起伏的，像些顆粒狀，雖然起伏不大，在幾個(gè)nm內(nèi)。 請(qǐng)問(wèn)這是什么原因��？ 應(yīng)該如何控制的出很高質(zhì)量的平整的膜�。� 還有，如果長(zhǎng)在不導(dǎo)電的基地上，想測(cè)一些光電學(xué)性質(zhì)，有化學(xué)工作站測(cè)， 會(huì)不會(huì)因?yàn)閷?dǎo)電性差而有問(wèn)題�。� |
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sin81: 金幣+10, ★有幫助 2013-06-23 17:33:42
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2樓2013-06-23 16:43:35
feixiangmars
銅蟲(chóng) (初入文壇)
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- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體材料
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nofrunolif: 金幣+1, 鼓勵(lì)新蟲(chóng) 2013-06-30 22:59:41
nofrunolif: 金幣+1, 鼓勵(lì)新蟲(chóng) 2013-06-30 22:59:41
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兩種材料的應(yīng)力失配，外延層與襯底的晶格失配度和熱失配度若太大，外延層很難長(zhǎng)平，可以控制生長(zhǎng)速率、溫度、壓力等參數(shù)，降低成長(zhǎng)速率，則應(yīng)該較容易長(zhǎng)原子臺(tái)階的表面。 另外，測(cè)試時(shí)也要注意，測(cè)試的速度盡量慢、同時(shí)，ＡＦＭ的針要比較新，測(cè)試環(huán)境要盡量少震動(dòng)，則測(cè)出來(lái)的效果會(huì)比較好 |
3樓2013-06-30 21:07:08
feixiangmars
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4樓2013-06-30 21:08:10
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