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磁控濺射的分子泵真空抽不上去 已有6人參與
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| 機(jī)械泵抽20分鐘才抽到5帕，開(kāi)分子泵后，當(dāng)分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空計(jì)、分子泵抑或其他什么問(wèn)題？懇請(qǐng)有經(jīng)驗(yàn)的學(xué)長(zhǎng)指點(diǎn)一下？ |
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2樓2013-08-14 18:32:02
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3樓2013-08-14 19:03:38
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4樓2013-08-15 00:09:20
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5樓2013-08-15 00:18:24
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9樓2013-08-16 14:25:13
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