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[求助]
磁控濺射的分子泵真空抽不上去 已有6人參與
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| 機(jī)械泵抽20分鐘才抽到5帕,開分子泵后,當(dāng)分子泵正常后,抽到0.3帕后就很基本不下降了,不知道是真空計(jì)、分子泵抑或其他什么問(wèn)題?懇請(qǐng)有經(jīng)驗(yàn)的學(xué)長(zhǎng)指點(diǎn)一下? |
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