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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 其它 » 磁控濺射的分子泵真空抽不上去
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磁控濺射的分子泵真空抽不上去 已有6人參與
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| 機械泵抽20分鐘才抽到5帕，開分子泵后，當分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空計、分子泵抑或其他什么問題？懇請有經(jīng)驗的學長指點一下？ |
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255255
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6樓2013-08-15 08:25:45
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