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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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[求助] 磁控濺射設(shè)備出現(xiàn)問(wèn)題已有4人參與

最近我們實(shí)驗(yàn)室磁控濺射儀出現(xiàn)問(wèn)題：機(jī)械泵和分子泵可以抽到理想的真空度，但是濺射幾分鐘之后，真空度突然升高，無(wú)法工作。各路大神給予指點(diǎn)呀！這是什么原因呀

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1樓 2014-10-31 20:29:31

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Friend007

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1.靶材不純。2.真空室污染嚴(yán)重。3.充氣系統(tǒng)異常。

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2樓2014-10-31 22:31:08

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cord

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不濺射之后是否真空又正常？
用的是什么氣體濺射，純度？靶材是什么？
你的信息太少了。

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3樓2014-10-31 23:25:27

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hnyhg

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如果真空度升高的不多，可能和靶材有關(guān)，換個(gè)靶材試試，如果真空度升的比較多，可能是氣路閥門(mén)或接口漏了，希望對(duì)你有幫助

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4樓2014-11-01 09:18:39

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引用回帖:

2樓: Originally posted by Friend007 at 2014-10-31 22:31:08
1.靶材不純。2.真空室污染嚴(yán)重。3.充氣系統(tǒng)異常。

謝謝你的回答，可是一般真空是污染嚴(yán)重，要抽到理想的真空度是不可能的，至于靶材，我們實(shí)驗(yàn)室以前就是使用的同種靶材沒(méi)有出現(xiàn)過(guò)這樣的問(wèn)題！

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擁抱理想

5樓2014-11-01 10:05:06

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tang2014

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1.你氣瓶給的壓強(qiáng)是多少，有的時(shí)候減壓閥給出的壓強(qiáng)高于3個(gè)大氣壓，會(huì)讓沖破流量計(jì)的控制。2.不濺射只是通氣看看是否是外加氣路或者流量計(jì)的問(wèn)題3。會(huì)不會(huì)你把閘板閥關(guān)了

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6樓2014-11-03 16:09:48

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wangshaobin

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這種情況一般是漏氣，靶座、轉(zhuǎn)架、靶漏、進(jìn)氣管有漏點(diǎn)等。規(guī)管還個(gè)新的試試。

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7樓2014-11-10 14:23:50

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