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naso123銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射過(guò)程中加熱電流不穩(wěn)定 已有3人參與
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本人用磁控濺射的方法生長(zhǎng)的壓電薄膜，在生長(zhǎng)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)輝光打到基片上時(shí)，加熱電流出現(xiàn)波動(dòng)，輝光也是一閃一閃的，有人知道這是什么原因嗎？ [ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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naso123
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2樓2014-11-03 11:42:56
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3樓2014-11-03 17:33:17
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
| （1）表面有氧化物，導(dǎo)電性時(shí)好時(shí)壞，加大電流多濺射一會(huì)兒。（2）電流太小，未進(jìn)入穩(wěn)定出輝狀態(tài)，調(diào)大電流試一下。（3）靶材固定螺絲太松，緊一下。（4）長(zhǎng)時(shí)間未清理，靶罩內(nèi)側(cè)和靶材固定圈上出現(xiàn)刺狀或片狀殘留物，用砂紙細(xì)細(xì)打磨。（5）腔體烘烤不足，靶材上有水附著，內(nèi)外烘烤24小時(shí)，使真空進(jìn)入10的-4次方以下。（6）電流調(diào)節(jié)電位器磨損，電阻值不穩(wěn)定，輕輕晃一下旋鈕，如果電流有擺動(dòng)，則需更換。（6）靶材中有鋁，只能把靶材消耗掉一些了。 |
4樓2014-11-03 19:16:49
5樓2014-11-03 19:20:24
naso123
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6樓2014-11-04 11:20:27
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8樓2014-11-06 08:06:02
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