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haosonghappy鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
Dr.
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[交流]
紫外光刻的問(wèn)題
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各位好， 本人是器件制備方面的菜鳥(niǎo)，初步學(xué)習(xí)用紫外光刻機(jī)想干凈硅片上做標(biāo)記，利用掩膜版，使用正刻膠。我嘗試了很多種曝光時(shí)間和顯影時(shí)間，依然得不到很好的結(jié)果。如圖所示，曝光部分的光刻膠不能很好的去除，請(qǐng)教各位大神和童鞋，到底是哪里出了問(wèn)題，應(yīng)該怎樣改進(jìn)實(shí)驗(yàn)參數(shù)？ uv40-20s2.jpg uv60-20s2.jpg |
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exciting73 
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阿Q~~
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haosonghappy
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5樓2015-03-12 19:24:54
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