 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » 紫外光刻的問題
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1560 | 回復: 6 | |||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
haosonghappy鐵桿木蟲 (著名寫手)
Dr.
|
[交流]
紫外光刻的問題
|
||
|
各位好， 本人是器件制備方面的菜鳥，初步學習用紫外光刻機想干凈硅片上做標記，利用掩膜版，使用正刻膠。我嘗試了很多種曝光時間和顯影時間，依然得不到很好的結果。如圖所示，曝光部分的光刻膠不能很好的去除，請教各位大神和童鞋，到底是哪里出了問題，應該怎樣改進實驗參數？ uv40-20s2.jpg uv60-20s2.jpg |
回復此樓» 猜你喜歡
化工學院（學院正式調劑群+聯(lián)系方式）
已經有0人回復
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經有0人回復
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經有112人回復
-
黑龍江大學分析化學招調劑
已經有0人回復
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學，紡織等專業(yè)碩士調劑生
已經有26人回復
-
紡大化工學院（官方群）-院士團隊招生-學生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經有0人回復
-
溫州大學化材學院王娟課題組招生
已經有5人回復
-
學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學生赴985海外深造
已經有0人回復
-
武漢紡織大學化工學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-10余名學生赴985海外深造
已經有0人回復
-
南昌航空大學蔣華麟教授課題組招收化學、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關專業(yè)碩士信息
已經有0人回復
-
湖北師范大學復試調劑
已經有0人回復
» 本主題相關價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 光刻后去膠不均勻怎么解決
已經有24人回復
- 紫外光刻后圖形邊緣有鋸齒，如何分析原因？
已經有13人回復
- 大家好，請問大多數正性光刻膠和鹽酸反應嗎，有哪些光刻膠分辨率能達到30nm
已經有5人回復
- 怎樣降低ITO導電玻璃表面粗糙度，或者怎樣處理表面可以實現EBL刻蝕
已經有9人回復
- 實驗室中常用的正性紫外光刻膠都有哪些？
已經有13人回復
- 可將光引發(fā)劑的作用機理
已經有3人回復
- 光刻膠和激光器的選擇
已經有10人回復
- 如何得到大厚度均勻性好的光刻膠掩膜
已經有6人回復
- 真空紫外光刻光源與基材之間距離與刻蝕效果之間影響關系
已經有11人回復
- 掩膜板精度固定方法
已經有5人回復
- 大家光刻后顯影時，都如何做呢？
已經有9人回復
- PDMS怎么樣清洗表面
已經有5人回復
- 硅 濕法刻蝕 掩膜
已經有11人回復
- SU-8負性光刻 溶劑
已經有12人回復
- 紫外光刻掩膜板
已經有5人回復
- 【求助】光刻板的問題
已經有9人回復
- 【求助】請問一下光刻膠是什么東西？成分是什么？
已經有6人回復
- 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？
已經有25人回復
- 【請教】光刻失敗后 大家是如何清洗SiO2上的光刻膠的
已經有19人回復
- 【討論】大家都是通過什么方法制備微納結構的？
已經有22人回復
- 【資源】電子束光刻技術
已經有32人回復
haosonghappy
鐵桿木蟲 (著名寫手)
Dr.
- 應助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 6878.7
- 散金: 576
- 紅花: 3
- 帖子: 1429
- 在線: 396.9小時
- 蟲號: 1106579
- 注冊: 2010-09-24
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體電子器件
5樓2015-03-12 19:24:54
exciting73 
金蟲 (著名寫手)
- 應助: 110 (高中生)
- 金幣: 579.9
- 紅花: 20
- 帖子: 1785
- 在線: 272.7小時
- 蟲號: 1946276
- 注冊: 2012-08-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體材料
2樓2015-03-11 20:29:41
阿Q~~
至尊木蟲 (文壇精英)
- 應助: 77 (初中生)
- 金幣: 33343.6
- 紅花: 107
- 帖子: 36186
- 在線: 1028.1小時
- 蟲號: 3237212
- 注冊: 2014-05-27
- 性別: MM
- 專業(yè): 宇宙學
3樓2015-03-12 08:10:57
babyoflion
金蟲 (著名寫手)
- 應助: 183 (高中生)
- 金幣: 4776.5
- 散金: 301
- 紅花: 30
- 帖子: 2507
- 在線: 671.9小時
- 蟲號: 2297725
- 注冊: 2013-02-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 光學
4樓2015-03-12 12:03:41
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 291求調劑 +20 | Y-cap 2026-03-29 | 25/1250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 307分求調劑 +14 | (o~o) 2026-03-31 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 332求調劑 +8 | Lyy930824@ 2026-03-29 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 材料與化工（0856）304求B區(qū)調劑 +8 | 邱gl 2026-03-30 | 16/800 |
|
|
|
[論文投稿]
chinese chemical letters英文版投稿求助
 120+4
|
Yishengeryi 2026-03-30 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境工程 085701，267求調劑 +15 | minht 2026-03-29 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 326求調劑 +4 | 崽崽仔 2026-03-31 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求0861交通運輸專碩or材料專碩調劑 +4 | 勒布朗@ 2026-03-31 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 301求調劑 +8 | axibli 2026-04-01 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿北京科技大學085601材料工程英一數二初試總分335求調劑 +5 | 雙馬尾痞老板2 2026-03-31 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0856調劑 +7 | 曲聽筠 2026-03-30 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 考研生物與醫(yī)藥調劑 +7 | 鐵憨憨123425 2026-03-31 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 352分-085602-一志愿985 +6 | 海納百川Ly 2026-03-29 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 08開頭看過來�。�！ +3 | wwwwffffff 2026-03-31 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調劑 +9 | akdhjs 2026-03-31 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 本科211生物醫(yī)學工程085409求調劑339分 +7 | 里子木yy 2026-03-29 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 272求調劑，接受跨專業(yè)調劑！ +3 | 閑魚盧 2026-03-31 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 274求調劑 +6 | xiao愛同學 2026-03-30 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703 化學 求調劑，一志愿山東大學 342 分 +7 | Shern—- 2026-03-28 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學碩求調劑 +4 | 崔wj 2026-03-26 | 4/200 |
|