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灰常焱龑木蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射機械泵真空抽不下去 已有3人參與
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現(xiàn)在使用機械泵只能抽到20Pa左右，就抽不下去了。但是使用分子泵還能抽到5*10^-4Pa。換過機械泵油，調過零點，真空都降不下去。應該如何處理啊? 下面是氣路圖： |
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bluepanda4
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2樓2015-10-05 09:56:54
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3樓2015-10-07 11:56:41
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4樓2015-10-07 14:04:17
灰常焱龑
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5樓2015-10-08 19:05:50
6樓2015-10-15 21:54:17
jerryxinjie
禁蟲 (正式寫手)
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7樓2015-10-16 00:27:06
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