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灰常焱龑木蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射機(jī)械泵真空抽不下去 已有3人參與
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現(xiàn)在使用機(jī)械泵只能抽到20Pa左右，就抽不下去了。但是使用分子泵還能抽到5*10^-4Pa。換過機(jī)械泵油，調(diào)過零點(diǎn)，真空都降不下去。應(yīng)該如何處理啊? 下面是氣路圖： |
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zhaolianbo
木蟲 (正式寫手)
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3樓2015-10-07 11:56:41
bluepanda4
鐵桿木蟲 (著名寫手)
博士要謙虛。。。。
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2樓2015-10-05 09:56:54
bluepanda4
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4樓2015-10-07 14:04:17
6樓2015-10-15 21:54:17
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