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finetx銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
請(qǐng)教懂磁控濺射設(shè)備的高人
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| 磁控濺射設(shè)備制備多層膜 單軸（基體公轉(zhuǎn)）和雙軸（基體公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)）哪個(gè)做出來的周期小呢？ |
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warstorm
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2樓2012-05-08 11:33:13
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3樓2012-05-08 17:22:28
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A/B兩物質(zhì)交替一次為一周期 的話兩種轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)間是一樣的，因?yàn)闉R射控制無非是時(shí)間控厚，厚度控厚和光控控厚 精度說法不太全面，對(duì)產(chǎn)品來說是精度，對(duì)鍍膜機(jī)來說應(yīng)該用均勻區(qū)描述，精度是指偏離設(shè)計(jì)值的程度，均勻性是指每片基片上各個(gè)點(diǎn)或者每次鍍膜時(shí)所有基片之間的差異 因?yàn)闉R射也相當(dāng)于大一些的點(diǎn)源向外發(fā)散鍍制，類似燈泡發(fā)光，它進(jìn)行濺射鍍膜的時(shí)候，你的懸掛基片各個(gè)點(diǎn)相對(duì)于濺射源的距離、角度都不一樣，所以比如說你監(jiān)控到這一秒鍍膜0.4nm，但是實(shí)際上靠近監(jiān)控點(diǎn)位置的基片和遠(yuǎn)一點(diǎn)的鍍上的厚度是有些許差異的，如果產(chǎn)品精度要求低，可能很大范圍內(nèi)都能滿足要求，這時(shí)候雙軸行星夾具就比較好，雙軸旋轉(zhuǎn)各個(gè)片之間差別不大，每個(gè)片上的均勻性也較好vecco的現(xiàn)在正在做行星夾具的濺射機(jī)，好像卡在光控系統(tǒng)上了，如果不用光控的話好像能直接買到（光控控制精度高）， 如果產(chǎn)品精度要求高，比如要求波長偏差在1nm之內(nèi)，例如做DWDM，基本上只能鍍制單片，直徑100~200mm之間，具體能鍍多大就要看均勻性擋板修正的水平了 還有，行星夾具一般只有生產(chǎn)型企業(yè)會(huì)考慮，因?yàn)楫a(chǎn)量大，當(dāng)然不排除你要鍍制的基片過大（比如直徑400mm的反光杯之類），這樣的一般考慮行星夾具 如果是科研或者實(shí)驗(yàn)室的話，一般就考慮單軸的就好了 |
4樓2012-05-09 08:27:57
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