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[求助]
關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
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問題:磁控濺射直流鍍鋅,出現(xiàn)功率不穩(wěn)和輝光閃爍 用直流鍍鋅時,開啟時還沒有調(diào)節(jié)功率,電壓就相對以往電壓高出許多,大概400V到600V左右,而一般鍍膜開啟時都是在電壓300V左右,電流和以往一樣都在0.2A左右。有輝光,但是出現(xiàn)間隔性閃爍,并每閃爍一次輝光變色,范藍到紅后又成藍,并每閃爍一次電壓自動擺動,上升。使得功率不能控制,這是什么原因造成?希望得到解答,謝謝! |
拾遺 |


專家顧問 (知名作家)
P-M-I之初生牛犢

專家顧問 (知名作家)
P-M-I之初生牛犢
| 本底真空不夠高,一般至少到-4,你抽到-3意味著可能有氧氣,所以開始的時候可能靶中毒,即表面產(chǎn)生氧化鋅,如果沒記錯的話,氬偏藍,氧篇紅,而且靶表面中毒之后,其起輝電壓肯定會升高,而閃爍應(yīng)該是因為氧化層很薄,所以如果沒有估計錯的話,你這種閃爍應(yīng)該持續(xù)時間較短,不會一直在整個濺射過程中持續(xù)吧?! |

木蟲 (小有名氣)
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