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[求助]
關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
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問(wèn)題：磁控濺射直流鍍鋅，出現(xiàn)功率不穩(wěn)和輝光閃爍 用直流鍍鋅時(shí)，開(kāi)啟時(shí)還沒(méi)有調(diào)節(jié)功率，電壓就相對(duì)以往電壓高出許多，大概400V到600V左右，而一般鍍膜開(kāi)啟時(shí)都是在電壓300V左右，電流和以往一樣都在0.2A左右。有輝光，但是出現(xiàn)間隔性閃爍，并每閃爍一次輝光變色，范藍(lán)到紅后又成藍(lán)，并每閃爍一次電壓自動(dòng)擺動(dòng)，上升。使得功率不能控制，這是什么原因造成？希望得到解答，謝謝！ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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華麗的飄過(guò): 金幣+5, 3q 2012-11-27 10:26:24
154696523: 金幣+10, ★★★很有幫助, 非常感謝 2012-12-09 10:05:01
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| 本底真空不夠高，一般至少到-4，你抽到-3意味著可能有氧氣，所以開(kāi)始的時(shí)候可能靶中毒，即表面產(chǎn)生氧化鋅，如果沒(méi)記錯(cuò)的話(huà)，氬偏藍(lán)，氧篇紅，而且靶表面中毒之后，其起輝電壓肯定會(huì)升高，而閃爍應(yīng)該是因?yàn)檠趸瘜雍鼙�，所以如果沒(méi)有估計(jì)錯(cuò)的話(huà)，你這種閃爍應(yīng)該持續(xù)時(shí)間較短，不會(huì)一直在整個(gè)濺射過(guò)程中持續(xù)吧？！ |
4樓2012-11-25 14:52:47
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1546965239樓2012-11-26 14:56:25
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10樓2012-11-26 15:20:19
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