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154696523金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
正能量使者
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[求助]
關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
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問(wèn)題:磁控濺射直流鍍鋅,出現(xiàn)功率不穩(wěn)和輝光閃爍 用直流鍍鋅時(shí),開(kāi)啟時(shí)還沒(méi)有調(diào)節(jié)功率,電壓就相對(duì)以往電壓高出許多,大概400V到600V左右,而一般鍍膜開(kāi)啟時(shí)都是在電壓300V左右,電流和以往一樣都在0.2A左右。有輝光,但是出現(xiàn)間隔性閃爍,并每閃爍一次輝光變色,范藍(lán)到紅后又成藍(lán),并每閃爍一次電壓自動(dòng)擺動(dòng),上升。使得功率不能控制,這是什么原因造成?希望得到解答,謝謝! |
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專(zhuān)家顧問(wèn) (知名作家)
P-M-I之初生牛犢

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金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
正能量使者

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P-M-I之初生牛犢
| 本底真空不夠高,一般至少到-4,你抽到-3意味著可能有氧氣,所以開(kāi)始的時(shí)候可能靶中毒,即表面產(chǎn)生氧化鋅,如果沒(méi)記錯(cuò)的話,氬偏藍(lán),氧篇紅,而且靶表面中毒之后,其起輝電壓肯定會(huì)升高,而閃爍應(yīng)該是因?yàn)檠趸瘜雍鼙,所以如果沒(méi)有估計(jì)錯(cuò)的話,你這種閃爍應(yīng)該持續(xù)時(shí)間較短,不會(huì)一直在整個(gè)濺射過(guò)程中持續(xù)吧?! |

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