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[求助]
關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
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問題：磁控濺射直流鍍鋅，出現(xiàn)功率不穩(wěn)和輝光閃爍 用直流鍍鋅時，開啟時還沒有調(diào)節(jié)功率，電壓就相對以往電壓高出許多，大概400V到600V左右，而一般鍍膜開啟時都是在電壓300V左右，電流和以往一樣都在0.2A左右。有輝光，但是出現(xiàn)間隔性閃爍，并每閃爍一次輝光變色，范藍(lán)到紅后又成藍(lán)，并每閃爍一次電壓自動擺動，上升。使得功率不能控制，這是什么原因造成？希望得到解答，謝謝！ |
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leongoall
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【答案】應(yīng)助回帖
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| 本底真空不夠高，一般至少到-4，你抽到-3意味著可能有氧氣，所以開始的時候可能靶中毒，即表面產(chǎn)生氧化鋅，如果沒記錯的話，氬偏藍(lán)，氧篇紅，而且靶表面中毒之后，其起輝電壓肯定會升高，而閃爍應(yīng)該是因?yàn)檠趸瘜雍鼙�，所以如果沒有估計(jì)錯的話，你這種閃爍應(yīng)該持續(xù)時間較短，不會一直在整個濺射過程中持續(xù)吧？！ |
4樓2012-11-25 14:52:47
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