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yulinmuxuan金蟲 (正式寫手)
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[求助]
本人學(xué)化工的 問下材料方面的知識脈沖磁控濺射和反應(yīng)磁控濺射是一種方法嗎
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| 兩種方法有什么區(qū)別？在合成氮化釩方面用哪種方法比較好？謝謝 |
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monsoonli
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【答案】應(yīng)助回帖
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| 同樣是磁控濺射的原理，都是等離子體電離后粒子對靶材的轟擊。是不是反應(yīng)濺射取決與你用的是什么靶材，有沒有反應(yīng)發(fā)生；例如你做的是ZnO材料，用Zn靶的話，通過調(diào)節(jié)氧氣的流量在高能量的轟擊下反應(yīng)生成ZnO材料，成為反應(yīng)濺射；至于脈沖濺射，本人感覺只是濺射的形式的變化吧，可以做反應(yīng)或者直接沉積，后者接觸的不是太多。個人淺見，希望有幫助。 |
2樓2013-03-14 20:57:26
yulinmuxuan
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3樓2013-03-15 08:44:14
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4樓2013-04-05 15:01:27
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5樓2013-04-06 11:16:20
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