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yulinmuxuan金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
本人學(xué)化工的 問(wèn)下材料方面的知識(shí)脈沖磁控濺射和反應(yīng)磁控濺射是一種方法嗎
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| 兩種方法有什么區(qū)別？在合成氮化釩方面用哪種方法比較好？謝謝 |
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monsoonli
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4樓2013-04-05 15:01:27
monsoonli
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
hwweven: 金幣+2, 感謝參與應(yīng)助 2013-03-15 08:02:48
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| 同樣是磁控濺射的原理，都是等離子體電離后粒子對(duì)靶材的轟擊。是不是反應(yīng)濺射取決與你用的是什么靶材，有沒(méi)有反應(yīng)發(fā)生；例如你做的是ZnO材料，用Zn靶的話，通過(guò)調(diào)節(jié)氧氣的流量在高能量的轟擊下反應(yīng)生成ZnO材料，成為反應(yīng)濺射；至于脈沖濺射，本人感覺(jué)只是濺射的形式的變化吧，可以做反應(yīng)或者直接沉積，后者接觸的不是太多。個(gè)人淺見(jiàn)，希望有幫助。 |
2樓2013-03-14 20:57:26
yulinmuxuan
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3樓2013-03-15 08:44:14
mzhuxust
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【答案】應(yīng)助回帖
★
314977903: 金幣+1, 應(yīng)助指數(shù)+1, 感謝參與應(yīng)助，歡迎常來(lái)材料工程版交流~ 2013-04-16 11:04:55
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兩者當(dāng)然不是一回事，反應(yīng)磁控濺射指的是你所沉積的物質(zhì)是在沉積過(guò)程中通過(guò)反應(yīng)形成的，比如說(shuō)你要沉積的氮化釩用的靶材并不是氮化釩，而是金屬釩，在濺射的過(guò)程中通入氮?dú)�，兩者反�?yīng)形成氮化釩膜。 脈沖磁控濺射是磁控濺射的一種形式，用他也可以做反應(yīng)磁控濺射。 |
5樓2013-04-06 11:16:20
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