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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 專業(yè)學科區(qū) » 物理 » 其他交流 » 磁控濺射電源問題
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conquertju金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射電源問題 已有2人參與
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| 直流磁控濺射鍍鈦，之前一直沒問題，別人換靶材用之后也沒問題，可是再換回鈦靶材之后，電源就出問題了，即使電壓加的很大，電流也非常小而且?guī)缀醪蛔�，輝光非常弱，有木有人知道問題可能出在哪？ |
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138dong
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7樓2013-06-28 14:15:40
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4樓2013-06-25 10:01:54
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