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lzy11189木蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射底座與腔體短路了 怎么解決 已有3人參與
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| 正在鍍膜時(shí)發(fā)現(xiàn)電流為0了，還有電壓，初步判定靶材與陽極罩短路了。打開腔體檢查后發(fā)現(xiàn)是底座與腔體短路了。這種短路應(yīng)該怎么解決啊 |
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