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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射底座與腔體短路了 怎么解決
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磁控濺射底座與腔體短路了 怎么解決 已有3人參與
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| 正在鍍膜時發(fā)現電流為0了，還有電壓，初步判定靶材與陽極罩短路了。打開腔體檢查后發(fā)現是底座與腔體短路了。這種短路應該怎么解決啊 |
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zxy19871129
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