 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 二氧化硅RIE刻蝕
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3603 | 回復: 11 | ||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | ||
羅軍王銀蟲 (初入文壇)
|
[求助]
二氧化硅RIE刻蝕 已有2人參與
|
|
| 我們有一臺中科院的ME-3A型磁增強反應離子刻蝕機，現(xiàn)在刻蝕硅片已經(jīng)對達到最優(yōu)化，一分鐘能達到600nm左右，但是對于石英只能幾十納米，所以跟大家交流一下刻蝕參數(shù)。我們目前使用的參數(shù)是：流量15，壓強0.5Pa，功率100W，速率25nm/min |
回復此樓» 猜你喜歡
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
化工學院（學院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有156人回復
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復
-
黑龍江大學分析化學招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復
-
紡大化工學院（官方群）-院士團隊招生-學生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復
-
溫州大學化材學院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復
-
學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
武漢紡織大學化工學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
南昌航空大學蔣華麟教授課題組招收化學、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復
» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- ICP刻蝕側(cè)壁陡直度
已經(jīng)有5人回復
- 納米制備藝術(shù)（16）：硅尖列陣制備工藝（RIE on SiO2層）
已經(jīng)有3人回復
- 二氧化硅的表面改性，
已經(jīng)有10人回復
- PMMA接枝到納米二氧化硅微球表面，用HF刻蝕掉二氧化硅，怎么回收高分子？
已經(jīng)有8人回復
- 怎樣在2微米厚的Mo片上刻蝕微米尺寸的洞？謝謝
已經(jīng)有4人回復
- 求助 濕法腐蝕二氧化硅 邊緣不光滑 求大家分析下原因 有圖
已經(jīng)有18人回復
- 做光刻、刻蝕的請駐足瀏覽一下吧，懸賞50金幣
已經(jīng)有14人回復
- 以SiO2為模板, 如何去除SiO2
已經(jīng)有6人回復
- 二氧化硅做模板劑怎么除去
已經(jīng)有16人回復
- 請教RIE刻蝕PS球的工藝參數(shù)
已經(jīng)有6人回復
- 氫氟酸刻蝕二氧化硅的反應條件
已經(jīng)有10人回復
- 請問下氫氟酸除去二氧化硅的問題
已經(jīng)有11人回復
- 用氫氟酸洗去二氧化硅，怎么除去氫氟酸呢？
已經(jīng)有18人回復
- 等離子刻蝕后的廢氣
已經(jīng)有3人回復
- SiO2表面接枝PNIPAM后再HF刻蝕能成空心球嗎
已經(jīng)有6人回復
- 二氧化硅包覆四氧化三鐵，如何只除去二氧化硅而保留四氧化三鐵？
已經(jīng)有17人回復
- 【求助】氫氟酸刻蝕硅片，粗糙度是怎么變化的�。�
已經(jīng)有16人回復
- 【求助】除去硅表面的二氧化硅
已經(jīng)有13人回復
- 【求助】反應離子刻蝕的問題
已經(jīng)有6人回復
quanten
金蟲 (著名寫手)
QQ群(NW-FET): 157220400
- 應助: 34 (小學生)
- 金幣: 1672.3
- 散金: 204
- 紅花: 18
- 帖子: 1055
- 在線: 570.9小時
- 蟲號: 478681
- 注冊: 2007-12-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體電子器件
7樓2014-09-22 23:46:42
羅軍王
銀蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 304
- 帖子: 21
- 在線: 11.4小時
- 蟲號: 1678964
- 注冊: 2012-03-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
3樓2014-06-26 15:35:54
quanten
金蟲 (著名寫手)
QQ群(NW-FET): 157220400
- 應助: 34 (小學生)
- 金幣: 1672.3
- 散金: 204
- 紅花: 18
- 帖子: 1055
- 在線: 570.9小時
- 蟲號: 478681
- 注冊: 2007-12-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體電子器件
4樓2014-06-26 15:56:26
羅軍王
銀蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 304
- 帖子: 21
- 在線: 11.4小時
- 蟲號: 1678964
- 注冊: 2012-03-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
5樓2014-07-08 16:33:06
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0703化學 +11 | 妮妮ninicgb 2026-03-27 | 11/550 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[碩博家園] 求調(diào)劑 有機化學考研356分 +3 | Nadiums 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
[考研] 295求調(diào)劑 +4 | wei-5 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 315求調(diào)劑 +4 | akie... 2026-03-28 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑一志愿海大，0703化學學碩304分，有大創(chuàng)項目，四級已過 +7 | 幸運哩哩 2026-03-22 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 320分，材料與化工專業(yè)，求調(diào)劑 +9 | 一定上岸aaa 2026-03-27 | 13/650 |
|
|
|
[考研] 322求調(diào)劑 +5 | 舊吢 2026-03-24 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 085600 286分 材料求調(diào)劑 +7 | 麻辣魷魚 2026-03-27 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 材料與化工085600，總分304，本科有兩篇sci參與，求調(diào)劑 +10 | 幸運的醬醬 2026-03-22 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 劉柯@ 2026-03-24 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑 +3 | 李嘉圖·S·路 2026-03-27 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0703化學求調(diào)劑 +3 | 丹青奶蓋 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料與化工304求B區(qū)調(diào)劑 +3 | 邱gl 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 263求調(diào)劑 +6 | yqdszhdap－ 2026-03-22 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境專碩324分求調(diào)劑推薦 +5 | 軒小寧—— 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿上海交大生物與醫(yī)藥專碩324分，求調(diào)劑 +6 | jiajunX 2026-03-22 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿哈工大，085400，320，求調(diào)劑 +4 | gdlf9999 2026-03-24 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 293求調(diào)劑 +7 | 加一一九 2026-03-24 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 生物學學碩求調(diào)劑 +7 | 小羊睡著了? 2026-03-23 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑一志愿武漢理工大學材料工程（085601） +5 | WW.' 2026-03-23 | 7/350 |
|