 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 二氧化硅RIE刻蝕
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3569 | 回復: 11 | ||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | ||
羅軍王銀蟲 (初入文壇)
|
[求助]
二氧化硅RIE刻蝕 已有2人參與
|
|
| 我們有一臺中科院的ME-3A型磁增強反應離子刻蝕機，現在刻蝕硅片已經對達到最優(yōu)化，一分鐘能達到600nm左右，但是對于石英只能幾十納米，所以跟大家交流一下刻蝕參數。我們目前使用的參數是：流量15，壓強0.5Pa，功率100W，速率25nm/min |
回復此樓» 猜你喜歡
溫州大學王娟課題組2026年招生
已經有10人回復
-
溫州大學2026年招生（化學、材料）
已經有10人回復
-
無機化學論文潤色/翻譯怎么收費?
已經有92人回復
-
招生負責_院士團隊_學生高自由度成長_擅長學生培養(yǎng)
已經有5人回復
-
溫州大學招收2026年入學博士研究生（化學、材料、環(huán)境）
已經有10人回復
-
非晶合金
已經有2人回復
-
院士團隊-每屆學生都優(yōu)秀-高自由度-團隊氛圍好
已經有0人回復
-
求調劑
已經有3人回復
-
化工學院（學院正式調劑群+聯系方式）
已經有0人回復
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經有0人回復
-
黑龍江大學分析化學招調劑
已經有0人回復
» 本主題相關商家推薦: (我也要在這里推廣)
» 本主題相關價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- ICP刻蝕側壁陡直度
已經有5人回復
- 納米制備藝術（16）：硅尖列陣制備工藝（RIE on SiO2層）
已經有3人回復
- 二氧化硅的表面改性，
已經有10人回復
- PMMA接枝到納米二氧化硅微球表面，用HF刻蝕掉二氧化硅，怎么回收高分子？
已經有8人回復
- 怎樣在2微米厚的Mo片上刻蝕微米尺寸的洞？謝謝
已經有4人回復
- 求助 濕法腐蝕二氧化硅 邊緣不光滑 求大家分析下原因 有圖
已經有18人回復
- 做光刻、刻蝕的請駐足瀏覽一下吧，懸賞50金幣
已經有14人回復
- 以SiO2為模板, 如何去除SiO2
已經有6人回復
- 二氧化硅做模板劑怎么除去
已經有16人回復
- 請教RIE刻蝕PS球的工藝參數
已經有6人回復
- 氫氟酸刻蝕二氧化硅的反應條件
已經有10人回復
- 請問下氫氟酸除去二氧化硅的問題
已經有11人回復
- 用氫氟酸洗去二氧化硅，怎么除去氫氟酸呢？
已經有18人回復
- 等離子刻蝕后的廢氣
已經有3人回復
- SiO2表面接枝PNIPAM后再HF刻蝕能成空心球嗎
已經有6人回復
- 二氧化硅包覆四氧化三鐵，如何只除去二氧化硅而保留四氧化三鐵？
已經有17人回復
- 【求助】氫氟酸刻蝕硅片，粗糙度是怎么變化的��？
已經有16人回復
- 【求助】除去硅表面的二氧化硅
已經有13人回復
- 【求助】反應離子刻蝕的問題
已經有6人回復
quanten
金蟲 (著名寫手)
QQ群(NW-FET): 157220400
- 應助: 34 (小學生)
- 金幣: 1672.3
- 散金: 204
- 紅花: 18
- 帖子: 1055
- 在線: 570.9小時
- 蟲號: 478681
- 注冊: 2007-12-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體電子器件
9樓2014-09-25 00:06:33
羅軍王
銀蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 304
- 帖子: 21
- 在線: 11.4小時
- 蟲號: 1678964
- 注冊: 2012-03-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
3樓2014-06-26 15:35:54
quanten
金蟲 (著名寫手)
QQ群(NW-FET): 157220400
- 應助: 34 (小學生)
- 金幣: 1672.3
- 散金: 204
- 紅花: 18
- 帖子: 1055
- 在線: 570.9小時
- 蟲號: 478681
- 注冊: 2007-12-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體電子器件
4樓2014-06-26 15:56:26
羅軍王
銀蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 304
- 帖子: 21
- 在線: 11.4小時
- 蟲號: 1678964
- 注冊: 2012-03-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
5樓2014-07-08 16:33:06
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿西安交通大學材料工程專業(yè) 282分求調劑 +10 | 楓橋ZL 2026-03-18 | 12/600 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0703化學調劑 +11 | 妮妮ninicgb 2026-03-15 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 材料工程專碩 348分求調劑 +3 | 冬辭. 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 299求調劑 +5 | shxchem 2026-03-20 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 生物學一志愿985，分數349求調劑 +3 | zxts12 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 化學求調劑 +4 | 臨澤境llllll 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿中國石油大學（華東） 本科齊魯工業(yè)大學 +3 | 石能偉 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料學碩297已過四六級求調劑推薦 +11 | adaie 2026-03-19 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 一志愿 南京航空航天大學大學 ，080500材料科學與工程學碩 +5 | @taotao 2026-03-20 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調劑 +3 | eation27 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿]
申請回稿延期一個月，編輯同意了。但系統(tǒng)上的時間沒變，給編輯又寫郵件了，沒回復
 10+3
|
wangf9518 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085601專碩，總分342求調劑，地區(qū)不限 +5 | share_joy 2026-03-16 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0703化學336分求調劑 +6 | zbzihdhd 2026-03-15 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 334求調劑 +3 | 志存高遠意在機?/a> 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 293求調劑 +11 | zjl的號 2026-03-16 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 326求調劑 +5 | 上岸的小葡 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿蘇州大學材料工程（085601）專碩有科研經歷三項國獎兩個實用型專利一項省級立項 +6 | 大火山小火山 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 材料工程專碩274一志愿211求調劑 +6 | 薛云鵬 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 070300化學學碩求調劑 +6 | 太想進步了0608 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 327求調劑 +6 | 拾光任染 2026-03-15 | 11/550 |
|