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[求助]
關(guān)于半導(dǎo)體薄膜退火的問(wèn)題
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| 我想請(qǐng)問(wèn)大家做半導(dǎo)體薄膜退火的大神們，我用氮?dú)庾鐾嘶饸怏w，我想知道，氮?dú)饬髁吭撛O(shè)為多少比較好？還有氣壓該控制在多少呢？ |
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