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踩不扁的小強(qiáng)鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射蒸鍍硅薄膜遇到的問題 已有1人參與
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| 用磁控濺射蒸鍍硅薄膜過程中，用射頻交流檔，設(shè)置功率150W，時(shí)間2400S，最后樣品取出來后，表面出現(xiàn)大的裂紋，甚至出現(xiàn)沙粒狀，與正常的均勻致密薄膜相差甚遠(yuǎn)。請(qǐng)教各位蟲友，哪些因素會(huì)導(dǎo)致這種情況？之前，工程師猜測(cè)可能是基片襯底沒有清洗干凈，但是連續(xù)兩次實(shí)驗(yàn)都出現(xiàn)了這種情況。 |
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Smallpeng
木蟲 (正式寫手)
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2樓2014-07-08 14:58:46
踩不扁的小強(qiáng)
鐵蟲 (小有名氣)
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3樓2014-07-09 22:30:04
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