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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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[交流] 磁控濺射鍍硼，濺射完后取出后幾分鐘后硼表面霧蒙蒙的，一擦就掉了已有4人參與

磁控濺射鍍硼，濺射完后取出后幾分鐘后硼表面霧蒙蒙的，一擦就掉了，什么原因，有做過(guò)鍍硼的嗎？

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好好加油！

1樓 2014-10-04 14:49:56

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ppttcug

木蟲(chóng) (小有名氣)

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你的條件是什么？濺射電壓？襯底有沒(méi)有上偏壓？真空度如何？溫度多少？

濺射失敗最常見(jiàn)的兩個(gè)問(wèn)題1 真空度不夠，氧化 2襯底偏壓或者溫度不夠，原子沒(méi)有結(jié)晶重排，形成無(wú)定形態(tài)

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3樓2014-10-04 22:33:37

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沒(méi)人來(lái)拯救下我嗎？

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好好加油！

2樓2014-10-04 15:22:48

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aykka

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不知道基底是什么

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4樓2014-10-05 06:31:59

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yes_zhu

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是不是，基底沒(méi)有處理好，導(dǎo)致應(yīng)力過(guò)大

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5樓2014-10-05 15:46:08

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