 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » ALD制備薄膜問題
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2634 | 回復(fù): 7 | ||
lianqi_1210銅蟲 (初入文壇)
|
[求助]
ALD制備薄膜問題 已有1人參與
|
|
各位蟲友，有沒有做ALD的？本人剛剛開始用ALD制備薄膜，源以及制備溫度都是參考文獻做的，但是基片上一直沒有鍍上膜。在想會不會是基片預(yù)處理的問題。 預(yù)處理過程：先用丙酮洗，再用NaOH+雙氧水。 各位有沒有相關(guān)的經(jīng)驗，求教啊�。�！ |
回復(fù)此樓» 本帖@通知
» 猜你喜歡
球磨粉體時遇到了大的問題，請指教！
已經(jīng)有1人回復(fù)
-
球磨粉體時遇到了大的問題，請指教！
已經(jīng)有16人回復(fù)
-
有機高分子材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有211人回復(fù)
-
新疆大學(xué)材料學(xué)院招收調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
本科鄭州大學(xué)無機非金屬研究生報復(fù)旦大學(xué)總分345，
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
國家杰青低維材料與器件力學(xué)團隊2026年招收博士研究生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
Desmodur® E 22國產(chǎn)替代產(chǎn)品
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
信越公司的X-12-1214A國產(chǎn)替代
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 請問哪里可以用ALD原子層沉積系統(tǒng)做氧化鋅的膜?
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 中科院深圳先進技術(shù)研究院—香港城市大學(xué) 功能薄膜材料研究中心招聘
已經(jīng)有16人回復(fù)
- 四（二甲）氨基鋯+H2O ALD法合成氧化鋯薄膜技術(shù)問題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 求助 ZnO 薄膜器件（TFT）的IV測試
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 請問大家都在用哪個公司的ALD系統(tǒng)
已經(jīng)有4人回復(fù)
- Nature Nanotechnology: MoS2 二維材料綜述
已經(jīng)有872人回復(fù)
- 什么是外延法制備薄膜？不是外延法是什么方法？？
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 分享一篇27頁的Al2O3薄膜綜述
已經(jīng)有127人回復(fù)
- 薄膜的生長問題
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 求助ALD生長HfO2出現(xiàn)的問題
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 化學(xué)浴法制備的無定型態(tài)CdS薄膜的紫外-可見光透射及吸光譜
已經(jīng)有33人回復(fù)
- 半導(dǎo)體薄膜異質(zhì)結(jié)制備要求
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 原子層沉積技術(shù)-ALD
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 【求助】請教，修飾電極用Nafion膜溶于水，怎么回事？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 【求助】TiO2納米粒子問題
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 【求助】電致變色薄膜的最小變色電流是多少
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【請教】石墨烯制備經(jīng)驗
已經(jīng)有19人回復(fù)
wbcui
至尊木蟲 (知名作家)
- MEPI: 1
- 應(yīng)助: 221 (大學(xué)生)
- 貴賓: 0.349
- 金幣: 16296.6
- 散金: 359
- 紅花: 73
- 帖子: 8321
- 在線: 919小時
- 蟲號: 543804
- 注冊: 2008-04-11
- 專業(yè): 金屬功能材料
2樓2014-10-24 15:46:24
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lianqi_1210: 金幣+5, ★有幫助 2014-10-26 14:56:04
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lianqi_1210: 金幣+5, ★有幫助 2014-10-26 14:56:04
|
基片怎么洗的沒有很大關(guān)系吧？ 會不會是源沒有到基片上，確定一下基片托盤的位置有沒有膜？腔體內(nèi)其它地方有沒有膜？如果腔體內(nèi)有些地方有膜而基片上沒有，就是反應(yīng)條件應(yīng)該沒有問題，只是設(shè)備原因反應(yīng)源沒有覆蓋到基片上 如果整個腔體都沒有膜，就檢查下實驗條件的設(shè)置有可能有問題了，當然也可能設(shè)備有問題而完全不反應(yīng)生成膜 |
3樓2014-10-25 22:13:42
lianqi_1210
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 255
- 帖子: 39
- 在線: 33.2小時
- 蟲號: 2213261
- 注冊: 2012-12-29
- 專業(yè): 應(yīng)用有機化學(xué)
4樓2014-10-26 14:54:45
lianqi_1210
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 255
- 帖子: 39
- 在線: 33.2小時
- 蟲號: 2213261
- 注冊: 2012-12-29
- 專業(yè): 應(yīng)用有機化學(xué)
5樓2014-10-26 14:57:03
6樓2014-11-25 16:29:40
153470403
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 419.8
- 帖子: 94
- 在線: 19.5小時
- 蟲號: 3589954
- 注冊: 2014-12-11
- 性別: GG
- 專業(yè): 化工熱力學(xué)和基礎(chǔ)數(shù)據(jù)
7樓2015-04-13 16:08:14
|
雖然，你提問在2014年，現(xiàn)在都2016年了，在以后必定也會有人會問這樣的問題。在此我闡述一下我的觀點。 導(dǎo)致薄膜長不上的原因有很多，如下： 1、出源量太低。雖然你使用了文獻中的參數(shù)，但是不同設(shè)備還是有差異的，出源量低會導(dǎo)致薄膜生長不上，或者太薄，小于5納米肉眼看不到。 2、周期太少。理由同上。 3、一般清洗用丙酮（5~10min超聲）+酒精（5~10min超聲）+HF(2%,不知道要多少時間)+De-water（5~10min 超聲），HF清洗會影響表面羥基密度，具體清洗時間我不清楚，我下個星期做實驗驗證一下。我以前做的實驗都是用HF（1%）泡3~5分鐘。以前還超聲過HF（1%）3~5分鐘，結(jié)果長不上薄膜。其實最好用標準清洗的，但是RC-1，RC-2，實驗室配起來太尷尬了，產(chǎn)生Cl2，我也是醉了。 4、載流氣太小。源的擴散還沒有到達襯底位置就被Purge了。 5、襯底位置太靠近排氣口。 6、NaOH+雙氧水，我沒試過，不敢妄下結(jié)論。 7、腔室溫度太高或太低。金屬襯底溫度低，生長速率低或長不上。而某些源溫度過高分解。 |
8樓2016-06-06 20:47:34
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 lianqi_1210 的主題更新
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 283求調(diào)劑（080500） +4 | A child 2026-03-27 | 4/200 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +7 | 墨墨漠 2026-03-25 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 348求調(diào)劑 +4 | 小懶蟲不懶了 2026-03-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料求調(diào)劑 +5 | .m.. 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿陜師大生物學(xué)071000，298分，求調(diào)劑 +5 | SYA！ 2026-03-23 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +11 | junqihahaha 2026-03-26 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +6 | wasdssaa 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +6 | Ymlll 2026-03-24 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 352求調(diào)劑 +4 | 大米飯！ 2026-03-22 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | QiMing7 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 網(wǎng)絡(luò)空間安全0839招調(diào)劑 +4 | w320357296 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 各位老師您好：本人初試372分 +5 | jj涌77 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0854電子信息求調(diào)劑 324 +4 | Promise-jyl 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] B區(qū)考研調(diào)劑 +4 | yqdszhdap－ 2026-03-22 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 305分求調(diào)劑（食品工程） +5 | Sxy112 2026-03-21 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料/農(nóng)業(yè)專業(yè)，07/08開頭均可，過線就行 +3 | 呵唔哦豁 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 生物學(xué)一志愿985，分數(shù)349求調(diào)劑 +6 | zxts12 2026-03-21 | 9/450 |
|
|
|
[考研]
 一志愿070300浙大化學(xué)358分，求調(diào)劑！
+4
|
酥酥魚.. 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑院校信息 +6 | CX 330 2026-03-21 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 生物學(xué)調(diào)劑 +5 | Surekei 2026-03-21 | 5/250 |
|