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lianqi_1210銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
ALD制備薄膜問題 已有1人參與
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各位蟲友，有沒有做ALD的？本人剛剛開始用ALD制備薄膜，源以及制備溫度都是參考文獻(xiàn)做的，但是基片上一直沒有鍍上膜。在想會(huì)不會(huì)是基片預(yù)處理的問題。 預(yù)處理過程：先用丙酮洗，再用NaOH+雙氧水。 各位有沒有相關(guān)的經(jīng)驗(yàn)，求教�。。。� |
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wbcui
至尊木蟲 (知名作家)
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2樓2014-10-24 15:46:24
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lianqi_1210: 金幣+5, ★有幫助 2014-10-26 14:56:04
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lianqi_1210: 金幣+5, ★有幫助 2014-10-26 14:56:04
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基片怎么洗的沒有很大關(guān)系吧？ 會(huì)不會(huì)是源沒有到基片上，確定一下基片托盤的位置有沒有膜？腔體內(nèi)其它地方有沒有膜？如果腔體內(nèi)有些地方有膜而基片上沒有，就是反應(yīng)條件應(yīng)該沒有問題，只是設(shè)備原因反應(yīng)源沒有覆蓋到基片上 如果整個(gè)腔體都沒有膜，就檢查下實(shí)驗(yàn)條件的設(shè)置有可能有問題了，當(dāng)然也可能設(shè)備有問題而完全不反應(yīng)生成膜 |
3樓2014-10-25 22:13:42
lianqi_1210
銅蟲 (初入文壇)
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4樓2014-10-26 14:54:45
lianqi_1210
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5樓2014-10-26 14:57:03
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7樓2015-04-13 16:08:14
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雖然，你提問在2014年，現(xiàn)在都2016年了，在以后必定也會(huì)有人會(huì)問這樣的問題。在此我闡述一下我的觀點(diǎn)。 導(dǎo)致薄膜長(zhǎng)不上的原因有很多，如下： 1、出源量太低。雖然你使用了文獻(xiàn)中的參數(shù)，但是不同設(shè)備還是有差異的，出源量低會(huì)導(dǎo)致薄膜生長(zhǎng)不上，或者太薄，小于5納米肉眼看不到。 2、周期太少。理由同上。 3、一般清洗用丙酮（5~10min超聲）+酒精（5~10min超聲）+HF(2%,不知道要多少時(shí)間)+De-water（5~10min 超聲），HF清洗會(huì)影響表面羥基密度，具體清洗時(shí)間我不清楚，我下個(gè)星期做實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證一下。我以前做的實(shí)驗(yàn)都是用HF（1%）泡3~5分鐘。以前還超聲過HF（1%）3~5分鐘，結(jié)果長(zhǎng)不上薄膜。其實(shí)最好用標(biāo)準(zhǔn)清洗的，但是RC-1，RC-2，實(shí)驗(yàn)室配起來太尷尬了，產(chǎn)生Cl2，我也是醉了。 4、載流氣太小。源的擴(kuò)散還沒有到達(dá)襯底位置就被Purge了。 5、襯底位置太靠近排氣口。 6、NaOH+雙氧水，我沒試過，不敢妄下結(jié)論。 7、腔室溫度太高或太低。金屬襯底溫度低，生長(zhǎng)速率低或長(zhǎng)不上。而某些源溫度過高分解。 |
8樓2016-06-06 20:47:34
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