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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » ALD制備薄膜問題
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lianqi_1210銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
ALD制備薄膜問題 已有1人參與
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各位蟲友，有沒有做ALD的？本人剛剛開始用ALD制備薄膜，源以及制備溫度都是參考文獻做的，但是基片上一直沒有鍍上膜。在想會不會是基片預處理的問題。 預處理過程：先用丙酮洗，再用NaOH+雙氧水。 各位有沒有相關(guān)的經(jīng)驗，求教�。。�！ |
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153470403
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7樓2015-04-13 16:08:14
wbcui
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2樓2014-10-24 15:46:24
【答案】應(yīng)助回帖
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lianqi_1210: 金幣+5, ★有幫助 2014-10-26 14:56:04
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lianqi_1210: 金幣+5, ★有幫助 2014-10-26 14:56:04
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基片怎么洗的沒有很大關(guān)系吧？ 會不會是源沒有到基片上，確定一下基片托盤的位置有沒有膜？腔體內(nèi)其它地方有沒有膜？如果腔體內(nèi)有些地方有膜而基片上沒有，就是反應(yīng)條件應(yīng)該沒有問題，只是設(shè)備原因反應(yīng)源沒有覆蓋到基片上 如果整個腔體都沒有膜，就檢查下實驗條件的設(shè)置有可能有問題了，當然也可能設(shè)備有問題而完全不反應(yīng)生成膜 |
3樓2014-10-25 22:13:42
lianqi_1210
銅蟲 (初入文壇)
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4樓2014-10-26 14:54:45
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