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滄海一夢2011至尊木蟲 (正式寫手)
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[求助]
咨詢JGP450a磁控濺射設(shè)備的漏樣問題
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| 我們組用這臺設(shè)備很久了，可是鍍出來的金屬膜（許多種金屬）都還有30%左右的氧，不知道大家鍍出來的膜質(zhì)量咋樣？含氧量高不高呢？我們的設(shè)備氣路檢漏，氣源純度，靶材純度都排除了，還是不行呢 |
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 薄膜制備與特性 |
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2樓2014-12-28 13:22:24
滄海一夢2011
至尊木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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- 注冊: 2012-04-06
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
3樓2014-12-29 09:07:20
4樓2014-12-29 21:19:28
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