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滄海一夢2011至尊木蟲 (正式寫手)
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[求助]
咨詢JGP450a磁控濺射設(shè)備的漏樣問題
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| 我們組用這臺設(shè)備很久了,可是鍍出來的金屬膜(許多種金屬)都還有30%左右的氧,不知道大家鍍出來的膜質(zhì)量咋樣?含氧量高不高呢?我們的設(shè)備氣路檢漏,氣源純度,靶材純度都排除了,還是不行呢 |
薄膜制備與特性 |
至尊木蟲 (正式寫手)
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