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滄海一夢(mèng)2011至尊木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
咨詢JGP450a磁控濺射設(shè)備的漏樣問(wèn)題
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| 我們組用這臺(tái)設(shè)備很久了，可是鍍出來(lái)的金屬膜（許多種金屬）都還有30%左右的氧，不知道大家鍍出來(lái)的膜質(zhì)量咋樣？含氧量高不高呢？我們的設(shè)備氣路檢漏，氣源純度，靶材純度都排除了，還是不行呢 |
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 薄膜制備與特性 |
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滄海一夢(mèng)2011
至尊木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
3樓2014-12-29 09:07:20
2樓2014-12-28 13:22:24
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