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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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趕快畢業(yè)吧

木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

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[求助] 為什么磁控濺射氧化鋁不起輝?急求! 已有2人參與

如題，用的是JCP-200高真空磁控濺射鍍膜機(jī)，初始真空度5Pa以下，本底真空度5e-4Pa左右，功率100W，Ar氛圍氣壓1Pa。為什么靶材是氧化鋁的時(shí)候不起輝呢？試過(guò)將功率調(diào)高，或者增加氣體流量，可是還是不能起輝。偶爾有可以起輝的時(shí)候，大約濺射4-5次能夠成功一次。
靶材是Ti或者Au的時(shí)候就每次都能起輝。
急求各位大神指教，感激不盡。

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1樓 2015-03-23 10:36:17

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1142211017

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除了射頻濺射外，考慮一下加熱，400度到500度那樣的

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不要做讓自己看不起的事情

4樓2015-03-26 08:46:38

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野人禾禾

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電源是什么類(lèi)型？

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擅長(zhǎng)薄膜材料工藝，歡迎交流captain0119

2樓2015-03-25 18:59:45

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cord

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氧化鋁是絕緣體，用DC濺射比較困難，可以試試射頻濺射。

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3樓2015-03-26 00:44:29

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引用回帖:

3樓: Originally posted by cord at 2015-03-26 00:44:29
氧化鋁是絕緣體，用DC濺射比較困難，可以試試射頻濺射。

我就是用的射頻濺射啊。有的時(shí)候好使，有的時(shí)候就不行了，間歇性抽風(fēng)。

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5樓2015-03-27 12:54:40

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普通表情龍兔虎貓

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