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安平勒銅蟲 (小有名氣)
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如何用磁控濺射鍍制氧化鎳薄膜 已有1人參與
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本人打算鍍制氧化鎳基電致變色材料,但是問題如下: 由于鎳具有鐵磁性,但是見文獻中有很多用磁控濺射鍍制的,這是不是對設備有著更高的要求?如果這樣那么如何用普通磁控濺射儀鍍制氧化鎳薄膜呢? 采用氧化鎳陶瓷應該也是不能消磁吧? 另外采用鎳合金靶材的方法,能否消磁?如有一篇文獻中采用鎳(93%)-釩(7%)的合金作靶材,那么合金的話摻多少可以消磁,如果摻鋁、摻鎂、摻鎢至少摻多少可以消磁呢? 請各位多多指教啊,拜托了。 |
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