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安平勒銅蟲(chóng) (小有名氣)
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如何用磁控濺射鍍制氧化鎳薄膜 已有1人參與
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本人打算鍍制氧化鎳基電致變色材料，但是問(wèn)題如下： 由于鎳具有鐵磁性，但是見(jiàn)文獻(xiàn)中有很多用磁控濺射鍍制的，這是不是對(duì)設(shè)備有著更高的要求？如果這樣那么如何用普通磁控濺射儀鍍制氧化鎳薄膜呢？ 采用氧化鎳陶瓷應(yīng)該也是不能消磁吧？ 另外采用鎳合金靶材的方法，能否消磁？如有一篇文獻(xiàn)中采用鎳（93%）-釩（7%）的合金作靶材，那么合金的話(huà)摻多少可以消磁，如果摻鋁、摻鎂、摻鎢至少摻多少可以消磁呢？ 請(qǐng)各位多多指教啊，拜托了。 |
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